论文部分内容阅读
传输系统一般用于供应研磨液,这种研磨液用于在生产半导体芯片过程中的平整晶圆的工序.这种系统通过对研磨液加压使之得以传输到使用设备上去,并使研磨液不断循环以使得颗粒保持悬浮状态.
在三种泵体系中研磨液颗粒尺寸分布对过滤器使用寿命的影响
【摘 要】
：
传输系统一般用于供应研磨液,这种研磨液用于在生产半导体芯片过程中的平整晶圆的工序.这种系统通过对研磨液加压使之得以传输到使用设备上去,并使研磨液不断循环以使得颗粒
【机 构】
：
CT Associates, Inc.
【出 处】
：
集成电路应用
【发表日期】
：
2007年8期
其他文献
《工伤保险条例》只确认了工伤保险具有工伤预防功能,但如何实施工伤预防,条例上没有具体和明确的表达,尤其是对工伤保险的预防费用没有明确规定,实质上难以促进工伤预防和安
在今年四月份于德州奥斯汀举行的表面预处理与清洗会议(Surface Preparalion and Cleaning Conference,SPCC)上.来自IMEC超级清洗工艺项目的项目经理Paul Mertens列举了45和3
湖南省农业机械标准化技术委员会紧紧盯住水稻生产机械化、油菜生产机械化和林果业生产机械三大重点,积极参与农机国家标准、行业标准和地方标准的制修订,共制定标准12项,修
半导体产业的发展意味着会出现功能更多、速度更快的器件,为了实现这一目的需要选择合适的材料来最终满足更小的线宽与更苛刻的限制.每一个新的技术节点都需要更新奇复杂的材
将虚拟制造技术应用于交通安全监控,三维呈现出交通元素并提供丰富的交互操作,引入Google Earth三维地图。提出了以文件结构为基础构建三维模型库方法,使用布尔莎模型及高斯投影实现了WGS84和BJ-54坐标系的转换。使用插值法进行曲线拟合实现了车辆的轨迹跟踪、比较,采用部分参考的方式实现轨迹预测。提出了使用因素加权法进行紧急状况危险度判别的方法,并建立危险因素影响表作为紧急预案的依据,进行多级
在用于半导体制造的化学品中,最贵的是光刻胶、抗反射涂层(ARC)和聚酰亚胺(polyimide)等.精确地预测这些特殊的光化学物质的使用量,对于半导体fab的平稳运行非常重要.库存过
镜头回放rn2005年6月13日下午,在美国佛罗里达州华特迪斯尼乐园,一名来自宾夕法尼亚州4岁男孩在玩“太空飞行”的游戏时昏倒,后抢救无效死亡.