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微机电系统CAD的研究分析
微机电系统CAD的研究分析
来源 :机械制造 | 被引量 : 1次 | 上传用户:maomao1983520
【摘 要】
:
概述了微机电系统CAD的研究进展,重点介绍了国外在该领域的研究工作。针对其与传统机电系统的不同,总结了微机电系统CAD的技术特点,并据此提出了微机电系统的设计原则,还介绍了微机电系统CAD的系统模型、常用的软件设计方法以及目前存在的几个问题。
【作 者】
:
李小兵
刘莹
【机 构】
:
南昌大学机电工程学院
【出 处】
:
机械制造
【发表日期】
:
2003年09期
【关键词】
:
微机电系统
CAD
系统模型
软件设计
MEMS
MEMS CAD Design Method
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概述了微机电系统CAD的研究进展,重点介绍了国外在该领域的研究工作。针对其与传统机电系统的不同,总结了微机电系统CAD的技术特点,并据此提出了微机电系统的设计原则,还介绍了微机电系统CAD的系统模型、常用的软件设计方法以及目前存在的几个问题。
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