【摘 要】
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为了解决当前采用一维纵向超声加载模式进行芯片键合时造成结合面不充分的问题,设计纵弯复合超声能量加载模式的压电超声换能器,实现轴向纵振和水平弯振复合的超声振动代替传
【机 构】
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河南科技大学机械工程学院,哈尔滨工业大学（深圳）机电工程与自动化学院
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(U1713206),深圳市学科布局基础研究资助项目(JCYJ20170413112645981,JCYJ20150928162432701)
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为了解决当前采用一维纵向超声加载模式进行芯片键合时造成结合面不充分的问题,设计纵弯复合超声能量加载模式的压电超声换能器,实现轴向纵振和水平弯振复合的超声振动代替传统单一的轴向振动.采用ANSYS软件,对换能器有限元模型进行模态分析和谐响应分析,得到换能器纵振和弯振模态的谐振频率及振型.通过调节换能器结构尺寸,实现纵振与弯振模态的简并.采用阻抗分析仪对样机的频率和阻抗进行测试,使用激光多普勒测振仪测试换能器的纵振与弯振幅值,测试结果与有限元仿真计算结果一致,发现纵向与弯曲振幅均随着驱动电压的增加呈近似线性上
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