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大容器的检漏技术
大容器的检漏技术
来源 :真空电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:eric_nj
【摘 要】
:
着重阐述大容器的检漏方法,即负压分流法、正压氢检漏法、正压充氦检漏法和负压采样法.
【作 者】
:
曹辉玲
王树鹏
【机 构】
:
北京真空电子技术研究所
【出 处】
:
真空电子技术
【发表日期】
:
2005年6期
【关键词】
:
大容器
检漏工程
前沿课题
质谱法
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着重阐述大容器的检漏方法,即负压分流法、正压氢检漏法、正压充氦检漏法和负压采样法.
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