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采用X射线研究了CVD金刚石薄膜的织构，并采用扫描电镜观察了金刚石薄膜的表面组织形貌，探讨了孪晶对金刚石薄膜织构的影响。结果表明，高频率的孪晶会影响薄膜的织构，高频率孪晶导致没有形成{100}织构，而形成{122}织构。
孪晶对CVD金刚石薄膜宏观织构组分的影响
【摘 要】
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采用X射线研究了CVD金刚石薄膜的织构，并采用扫描电镜观察了金刚石薄膜的表面组织形貌，探讨了孪晶对金刚石薄膜织构的影响。结果表明，高频率的孪晶会影响薄膜的织构，高频率孪晶导
【机 构】
：
河南科技大学材料科学与工程学院,大庆职业学院机电工程系
【出 处】
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科学技术与工程
【发表日期】
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2009年13期
【基金项目】
：
国家自然科学基金（50372007）和河南科技大学博士科学研基金（09001233）、校科研基会（08ZY003）资助
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