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为建立加工缺陷对微机械陀螺性能影响的机理性模型，解决高精度微机械结构优化设计的计算时间问题，以微机械加工技术制备的音叉振动式微机械陀螺为研究对象，利用多自由度动态有限元解析理论，提出基于子结构模型的检测电容解析法，实现微陀螺实际工作状态的模拟，并对模拟结果进行试验验证。从实例解析出发，发现微陀螺加工缺陷和工艺误差虽然对其结构固频特性影响不大，但是对其最终输出的电容检测特性具有较大影响这一重要现象。解析方法和结果在提高微机械陀螺解析精度和解析效率的基础上，对多物理场耦合工作环境下音叉振动式微机械陀螺健壮性能