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一台英国产S-600扫描电镜，开机后扩散泵不启动，检查冷却水系统，发现水压不够，经检查发现是自来水中的水垢积累在冷却水管造成冷却水管堵塞，疏通水管后真空预抽5分钟达不到扩散泵开启要求，但继续抽10分钟，扩散泵打开，加热45分钟后，大阀开启，但高真空仍达不到要求。按照真空维修的顺序，
真空系统故障检修探讨
【摘 要】
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一台英国产S-600扫描电镜，开机后扩散泵不启动，检查冷却水系统，发现水压不够，经检查发现是自来水中的水垢积累在冷却水管造成冷却水管堵塞，疏通水管后真空预抽5分钟达不到扩散泵开
【机 构】
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浙江大学材料系
【出 处】
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杭州电子工业学院学报
【发表日期】
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2000年3期
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