NY—1型电化学C—V自动测试仪的研制

来源 :电子测量与仪器学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lindan1982
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NY-1型电化学C-V自动测试仪是用于半导体外延层载流子浓度纵向分布的测量。由电解液/半导体结电容的测量获得载流子浓度。由结电容及腐蚀时流过结的电量可获得对应的深度。交替进行电容、电流测量即可获得载流子浓度纵向分布。该测试仪将电容电流测量、数据处理、结果输出等测试过程由计算机自动进行。已成功地在沪、杭、宁多家用户的砷化镓外延片进行测量并通过江苏省科委的鉴定。鉴定委员会认为“NY-1型电化学C-V自动测试仪”总体设计与单元设计合理。电化学室、恒电位仪、光照系统等单元性能良好。整机各部分工作协调、性能稳定,在
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