【摘 要】
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（2015-17-俄罗斯-3）项目成果属于乌克兰科研生产小企业Lileya有限公司所有。线性压电微电机是基于线性导轨和准谐振型压电制动器而研制的，具有分辨率高（～10nm）、工作力大（≥4N）、位移
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（2015-17-俄罗斯-3）项目成果属于乌克兰科研生产小企业Lileya有限公司所有。线性压电微电机是基于线性导轨和准谐振型压电制动器而研制的，具有分辨率高（～10nm）、工作力大（≥4N）、位移大（15毫米）、体积小（9．5×33．5×40mm）、重量轻（20克）等特性。转动式压电微电机是基于精密抽汲轴承和准谐振型压电平面制动器而研制的，具有分辨率高（～10arc．sec）、扭矩大（≥10mN＊M）、转速范围大（60．300rpm）体积小（9×34×40mm）、
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