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氧化铝薄膜具有很多优异的材料特性，特别是高温稳定性、化学稳定性和低导热性。现在氧化铝薄膜被广泛应用在硬质合金刀片上作为耐磨涂层材料。尽管具有这些优异的特性，但是氧化铝薄膜并没有被广泛应用到其它领域，主要原因是当今的行业标准仍然是建立在热化学气相沉积（CVD）工艺基础上的。
采用电弧和磁控溅射混合工艺的氧化铝涂层技术及应用
【摘 要】
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氧化铝薄膜具有很多优异的材料特性，特别是高温稳定性、化学稳定性和低导热性。现在氧化铝薄膜被广泛应用在硬质合金刀片上作为耐磨涂层材料。尽管具有这些优异的特性，但是氧化
【机 构】
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豪泽技术镀层公司
【出 处】
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工具技术
【发表日期】
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2007年10期
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