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通过对靶座结构的改变,使得靶面不再存在其他材质,由此提高了电弧离子镀膜膜层的纯度。考核了靶结构调整前后所镀制锆膜层的耐酸蚀性能,通过XPS手段测试了两种状态下膜层的成份及其含量,解释了两种膜层耐酸蚀性能差异的原因。
平面弧靶结构对锆膜层性能的影响
【摘 要】
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通过对靶座结构的改变,使得靶面不再存在其他材质,由此提高了电弧离子镀膜膜层的纯度。考核了靶结构调整前后所镀制锆膜层的耐酸蚀性能,通过XPS手段测试了两种状态下膜层的成
【机 构】
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中国工程物理研究院化工材料研究所,中国工程物理研究院化工材料研究所,中国工程物理研究院化工材料研究所 四川绵阳621900,四川绵阳621900,四川绵阳621900
【出 处】
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真空
【发表日期】
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2008年04期
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