铌酸钡钠光波导薄膜的脉冲激光淀积制备和研究

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报道了用脉冲激光淀积(PLD)方法在磷酸氧钛钾(KTP)晶体(100)面上生长沿[110]取向的铌酸钡钠(BNN)光波导薄膜。X射线衍射,扫描电子显微镜,X射线光电子能借测量表明生长的BNN膜是外延单晶膜。膜表面粗糙度很小。光波导模式和光损耗测量表明膜具有较低的损耗。 Reported the growth of the [110] sodium barium niobate (BNN) optical waveguide film on the (100) plane of potassium titanate phosphate (KTP) by pulsed laser deposition (PLD). X-ray diffraction, scanning electron microscopy, X-ray photoelectron can be measured by the growth of the BNN film is epitaxial single crystal film. Membrane surface roughness is small. Optical waveguide mode and optical loss measurements show that the film has a lower loss.
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