气体低温等离子体辅助技术几个工艺参数的控制问题

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本文主要分析了气体低温等离子体技术中功率、压强和流量控制所存在的一些问题,给出了压强、流量和抽速三者之间的理论关系式,并对与之有关的问题进行了有益的讨论。 In this paper, some problems existing in the control of power, pressure and flow in gas cryogenic plasma are mainly analyzed, and the theoretical relation between pressure, flow rate and pumping speed is given and the related problems are also helpful discussion.
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