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X光纳米光刻掩模的离子束制备法
X光纳米光刻掩模的离子束制备法
来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shmilyfanwen
【摘 要】
:
重离子束轰击聚碳酸酯后,对样品进行陈化和紫外线照射敏化,在优化条件下蚀刻后得到纳米孔径核孔膜.利用电化学沉积技术在核孔膜中制备了最小孔径为30纳米的铜纳米线.获得的铜
【作 者】
:
韩勇
彭良强
巨新
伊福廷
张菊芳
吴自玉
【机 构】
:
中国科学院高能物理所
【出 处】
:
微纳电子技术
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
纳米光刻
纳米线
x光掩模
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重离子束轰击聚碳酸酯后,对样品进行陈化和紫外线照射敏化,在优化条件下蚀刻后得到纳米孔径核孔膜.利用电化学沉积技术在核孔膜中制备了最小孔径为30纳米的铜纳米线.获得的铜纳米线/聚碳酸酯可以作为x光纳米光刻的掩模.
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