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薄膜体声波谐振（FBAR）滤波器具有体积小,性能高,一致性及可制造性好等优势,相关产品已被广泛应用于移动通信市场。通过对FBAR技术的基本原理和器件结构,讨论了FBAR技术的现状及发展趋势,表明其未来向宽带化,高功率化,高温度稳定性及小型化等方向发展。
薄膜体声波滤波器的发展现状
【摘 要】
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薄膜体声波谐振（FBAR）滤波器具有体积小,性能高,一致性及可制造性好等优势,相关产品已被广泛应用于移动通信市场。通过对FBAR技术的基本原理和器件结构,讨论了FBAR技术的现状及
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二十四研究所,中机中联工程有限公司,中国电子科技集团公司第二十六研究所,电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2017年2期
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