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超高亮度GaN基蓝色LED的发展将会引起照明技术的一场革命,它是目前全球半导体领域研究和投资的热点.本文综合分析了了GaN材料的特性及相应的材料生长和欧姆接触、刻蚀工艺等关键技术,并对GaN基蓝色LED器件的进一步改进及应用前景作了展望.
高亮度GaN基蓝色LED的研究进展
【摘 要】
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超高亮度GaN基蓝色LED的发展将会引起照明技术的一场革命,它是目前全球半导体领域研究和投资的热点.本文综合分析了了GaN材料的特性及相应的材料生长和欧姆接触、刻蚀工艺等
【机 构】
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华南理工大学光通信材料研究所
【出 处】
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量子电子学报
【发表日期】
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2003年1期
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