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对化学气相沉积法生产多晶硅的工艺进行了研究。多晶硅生产过程中的温度、流量、压力、物料摩尔比、进料气体分布以及操作安全性是影响多晶硅生产的重要因素，通过生产过程的研究和总结，实现了相关参数控制和安全性的优化，为企业带来了可观效益。
化学气相沉积法多晶硅生产工艺的研究
【摘 要】
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对化学气相沉积法生产多晶硅的工艺进行了研究。多晶硅生产过程中的温度、流量、压力、物料摩尔比、进料气体分布以及操作安全性是影响多晶硅生产的重要因素，通过生产过程的研
【机 构】
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江西赛维LDK光伏硅科技有限公司
【出 处】
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广州化工
【发表日期】
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2014年13期
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