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期刊论文
高温半导体压力传感器技术
高温半导体压力传感器技术
来源 :西安电子科技大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hasiwang
【摘 要】
:
介绍了高温半导体压力传感器的应用和国内外研究发展现状,论述了几种主要的高温半导体压力传感器的工作原理和关键技术,比较了不同传感器结构和制作工艺之间的优缺点,重点介绍了
【作 者】
:
韩小亮
朱作云
李跃进
【机 构】
:
西安电子科技大学微电子研究所
【出 处】
:
西安电子科技大学学报
【发表日期】
:
2001年1期
【关键词】
:
压力传感器
碳化硅
半导体
high temperaturepressure sensorSiC
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介绍了高温半导体压力传感器的应用和国内外研究发展现状,论述了几种主要的高温半导体压力传感器的工作原理和关键技术,比较了不同传感器结构和制作工艺之间的优缺点,重点介绍了新型SiC高温压力传感器.
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