论文部分内容阅读
与传统的机械封口相比,磁性的液体封口有高密封的独特人物,最小的磨擦转矩要求,没有污染、长的寿命,广泛地在真空机器人使用。与快速的发展集成电路(IC ) ,为当在真空环境工作时,封上处理晶片的机器人有一个紧要求。磁性的液体封口的参数组织在真空机器人设计是很重要的。这份报纸为机器人给一台磁性的液体封口设备。第一,磁性的液体的微分压力公式封上的封口根据 ferrohydrodynamics 的理论被推出,它显示在封上的差距的磁场坡度决定磁性的液体封口的封口能力。第二,成双柄的磁性的液体封口结构的磁性的分析模型被