【摘 要】
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用热丝热CVD法在Ti、Hf、Nb、Ta、Mo、W基片上得到了金刚石颗粒和片,并用SEM和X射线衍射技术研究了基片和沉积时间对金刚石形核、金刚石长大和金刚石形态的影响。有关的试验
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用热丝热CVD法在Ti、Hf、Nb、Ta、Mo、W基片上得到了金刚石颗粒和片,并用SEM和X射线衍射技术研究了基片和沉积时间对金刚石形核、金刚石长大和金刚石形态的影响。有关的试验参数见表1。研究结果表明:
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