【摘 要】
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本文以金属氧化物烧结体为中心,论述多孔陶瓷湿度传感器几何学因素、细孔表面状态和感湿特性之间的关系及其最新研究成果。湿敏元件是根据大气湿度极大地影响着多孔陶瓷元件
【机 构】
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信息产业部电子第四十九研究所,哈尔滨无线电八厂
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本文以金属氧化物烧结体为中心,论述多孔陶瓷湿度传感器几何学因素、细孔表面状态和感湿特性之间的关系及其最新研究成果。湿敏元件是根据大气湿度极大地影响着多孔陶瓷元件电阻的特性,利用陶瓷工艺技术制成。其灵敏度是由细孔结构、表面积以及化学成份决定的。当酸离子占有的表面积远大于0.1nm2时,在90％RH湿度以下,有效电阻由表面积和细孔的结构决定。当酸离子占有的表面积小于0.1nm2时,湿度大于40％RH,电阻随酸离子在表面上相互集中的比率增大而减小。采用碱离子来替换细孔表面的酸离子是一种很好的改善湿敏元件灵敏度和稳定性的方法,在较低的湿度领域下,可用超离子导体和铁电体替换金属氧化物陶瓷的方法,来降低电阻。
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