【摘 要】
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<正> 薄膜是不同于其它物态(气态、液态、固态和等离子态)的一种凝聚态,有人称之谓物质的第五态。顾名思义,薄膜就是薄层材料。它可以理解为气体薄膜,如吸附在固体表面的气体
【机 构】
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浙江大学信息与电子工程系,浙江大学信息与电子工程系
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<正> 薄膜是不同于其它物态(气态、液态、固态和等离子态)的一种凝聚态,有人称之谓物质的第五态。顾名思义,薄膜就是薄层材料。它可以理解为气体薄膜,如吸附在固体表面的气体薄层;也可理解为液体薄膜,如附着在液体或固体表面的油膜。这里所指的薄膜是固体薄膜,即使是固体薄膜,也可分为薄膜单体和附着在某种基体上的另一种材料的固体薄膜,这里所说的薄膜属后一种。它可以是在固体表面上镀上一层与基体材料不同的薄层材料;也可以是利用固体本身生成一层与基体不同的材料。至于薄膜的厚度应为多少,这无严格的定义,通常是指厚
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