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在IC器件氧化层介质击穿物理模型的基础上, 讨论人体带电放电模型(HBM ESD)中波动电压加于氧化层上时绝缘介质氧化层的击穿机理.
HBM模型中IC器件氧化层击穿机理
【摘 要】
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在IC器件氧化层介质击穿物理模型的基础上, 讨论人体带电放电模型(HBM ESD)中波动电压加于氧化层上时绝缘介质氧化层的击穿机理.
【机 构】
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上海海运学院
【出 处】
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上海海事大学学报
【发表日期】
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2004年4期
【基金项目】
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上海市教委资助项目
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