测定GaAs（001）衬底上InAs的生长速率

来源 :物理实验 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhairui15

【摘要】

：

报道了间接测定InAs生长速率的方法.通过设置不同Ga源温度,固定In源温度;和固定Ga源温度,设置不同In源温度,在GaAs（001）衬底上生长GaAs与InGaAs,用RHEED强度振荡测定GaAs与InGa

【作者】

：

郭祥罗子江张毕禅尚林涛周勋邓朝勇丁召

【机构】

：

贵州大学理学院,贵州省微纳电子与软件技术重点实验室,贵州财经学院教育管理学院,贵州师范大学物理与电子科学学院

【出处】

：

物理实验

【发表日期】

：

2011年1期

【关键词】

：

MBE RHEED GAAS(001)衬底强度振荡 InAs生长速率 MBE RHEED GaAs（001） substrate intensity osci

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报道了间接测定InAs生长速率的方法.通过设置不同Ga源温度,固定In源温度;和固定Ga源温度,设置不同In源温度,在GaAs（001）衬底上生长GaAs与InGaAs,用RHEED强度振荡测定GaAs与InGaAs的生长速率.验证了InGaAs的生长速率为GaAs的生长速率与InAs的生长速率之和,得到了In源温度在845～880℃时InAs的生长速率曲线.

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