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通过微电火花铣削试验研究，优化电参数、小厚度分层加工等方法分析微小孔加工直线度和圆柱度误差。结果表明：空载电压110V，峰值电流为70A，脉冲宽度为4μs，脉冲间隔为90μs，分层厚度0．15mm，放电间隙0．012mm，微小孔铣削精度最高，其加工尺寸精度±0．005mm，表面粗糙度0．427μm。