台阶阵列阴极真空微电子压力传感器研究

来源 :功能材料与器件学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shouquanwenjian
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本文提出并研究了一种新型台阶阵列阴极真空微电子压力传感器。与平面阵列阴极真空微电子压力传感器相比,该传感器在扩展量程和提高灵敏度方面较大的潜力,作者展示了计算机模拟计算结果和部分实验结果。
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