【摘 要】
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实验对微氮硅单晶进行了不同温度、时间、时序的热处理研究，着重调查了硅晶体中氮杂质浓度在热处理时的变化，实验指出，热处理时氮浓度的下降取决于样品热历史，热处理温度及其它杂
【机 构】
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浙江大学高纯硅及硅烷国家重点实验室
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实验对微氮硅单晶进行了不同温度、时间、时序的热处理研究，着重调查了硅晶体中氮杂质浓度在热处理时的变化，实验指出，热处理时氮浓度的下降取决于样品热历史，热处理温度及其它杂质的影响，实验发一同微氮样品高温热处理时，氮浓度消失，低温再退火时氮浓度重新回升，以及碳杂质抑制氮浓度下降的新事实，并结合红外吸收光谱的研究。提出微氮硅单晶中存在稳定性不同的二种氧氮复合体的观点。
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