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电阻率为15~20Ωcm n型单晶硅在氢氟酸-乙醇溶液中通过光电化学阳极氧化刻蚀后,再经过光氧化处理得到稳定化的多孔硅(pmoussilicon,PS).在PS结构基础上通过真空蒸镀金属铝(Al)层形成Al/PS/Si/Al纵向结构和PS两端镀铝的Al-PS-Al横向结构.利用多孔硅高比表面积对不同浓度尿素进行吸附后,得到Al/PS-urea/Si/Al or Al-PS-urea-Al结构.研究了上述两种结构的电流电压的半对数关系,结果表明lg I-V曲线与被吸附尿素的含量呈递减关系,浸泡Ps的尿素溶液