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设计了一种新型横向接触式微机械RF开关，描述了其结构和工作原理．采用以电镀为主的工艺流程，并利用SU8光刻胶实现特殊器件结构，可实现Post-CMOS集成．利用模拟软件CoventorWare 2004和MEMS Pro 5．0（包含ANSYS8．0）协同设计，对该器件进行了静态、模态和瞬态分析，得到吸合电压和吸合时间等重要性能参数．尤其在瞬态分析时运用了集总参数建模的方法，简化了计算．该器件的吸合电压低于30V，在驱动电压为50V的情况下，吸合时间达到16．1ms．