电离辐射下双界面Si3N4/SiO2/Si的等离激元

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用X光激发电子能谱(XPS)分析技术对Si3N4/SiO2/Si双界面系统经6O^Co电离辐照前后处于纯Si态的一级等离激元(定位于B.E.116.95eV)、处于SiO2态的一级等离激元(定位于B.E.122.OeV)和处于Si3N4态的一级等离激元(定位于B.E.127.OeV)进行了研究。实验结果显示:存在一个由Si3N4态等离激元和SiO2态等离激元构成的界面及由SiO2态等离激元和Si态等离激元构成的界面,在电离辐射的作用下,SiO2态-Si3N4态等离激元界面区中心向Si3N4态表面方向推移,
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