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微量物质可随裂解原料、稀释蒸汽和化学助剂进入乙烯装置，对裂解炉炉管造成损害、腐蚀管线与设备、使催化剂中毒，甚至影响下游聚烯烃装置的运行。乙烯装置中常见的微量物质主要有重金属、非金属及氧化物。硫会增加裂解产物中硫化氢的生成量，羰基硫可造成丙炔和丙二烯加氢催化剂活性下降，并污染丙烯产品；砷会腐蚀炉管并使加氢催化剂失活；钠会造成炉管腐蚀，加剧炉管内的结焦，还会促进CO和CO2的生成；汞能在低温设备中累积，侵蚀铝合金，造成设备故障，并降低催化剂的活性；CO2、甲基叔丁基醚、甲醇、氯化物及一些金属元素也会对乙烯装置