【摘 要】
:
研究了电源功率对磁控溅射制备的SiOx薄膜阻隔性的影响,获得了电源功率与薄膜阻隔性的变化曲线.实验结果表明,电源功率与SiOx薄膜的阻隔性成非线性关系,在电源功率为1 600 W
【基金项目】
:
国家“十一五”科技支撑计划课题资助(2006BAD05A05).
论文部分内容阅读
研究了电源功率对磁控溅射制备的SiOx薄膜阻隔性的影响,获得了电源功率与薄膜阻隔性的变化曲线.实验结果表明,电源功率与SiOx薄膜的阻隔性成非线性关系,在电源功率为1 600 W时SiOx薄膜阻隔性最好,透氧率为0.01 cm^3/(m^2·kPa·24h),透湿率为0.003 g/(m^2·kPa·24h).通过对3组不同电源功率下SiOx薄膜的红外光谱进行检测分析,得到薄膜的阻隔性与SiOx分子结构有关,x(1≤x≤2)越大阻隔性越好,x=2时,SiOx分子结构
其他文献
针对旋转体参数的测量,介绍了一种基于电磁耦合的无线多路数据传输系统,给出了系统构成框图和工作原理说明,阐明了无线通信环境下的数据调制解调方法,包括AD9954芯片调制与CXA169
既要保证生产,又要节约能源,电信企业就必须采用新的技术,通过技术创新压缩用电成本。同时,要在提高全员节能意识的基础之上.把节能降耗当作一个重要的年度考核指标.将节能降
近日,旨在推动业界最新消费和汽车应用创新的赛灵思(Xilinx)全面可编程解决方案在美国消费电子展上大展风采,其可编程逻辑器件(PLD)以及全面解决方案成为消费电子展2008创新的一个
加强对互联网的引导和管理,清除网络有害信息,打击各种网络违法行为,营造和维护一个绿色的、可持续发展的网络环境,促进互联网的健康快速发展,成为互联网监管部门的紧迫任务
《埃尔泽小姐》是著名作家施尼茨勒的重要作品。十九岁少女埃尔泽突然接到母亲的加急信,说父亲因贪污事败露,急需三万盾才能免遭逮捕入狱。母亲要女儿向当地的商人杜尔斯德求
介绍了采用SOPC技术来设计一个共享资源的可穿戴计算机三处理器系统,主处理器主要负责操作系统和应用软件的运行,网络处理器主要负责进行报文处理,DSP处理器主要负责对视频图
采用含高浓度硫酸盐抗生素废水,对比分析了自然厌氧及微氧水解酸化反应器硫酸盐还原反应,考查了微氧环境对硫酸盐还原反应的抑制作用及其对环境条件的改善.结果表明,系统ORP
面对特大自然灾害,中国电信各级领导高度重视,及时启动通信保障应急预案,上下动员,全面协调,全力开展应急抢修,不仅最大程度地减轻了灾害给客户和企业造成的损失,而且有力支
在落实节能降耗的具体措施上,通信产业的节能降耗重点在运营企业、设备制造和政府监管三个环节。目前,通信运营企业和设备制造业进行节能降耗,重点在基站、核心设备、基础设