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采用化学水浴沉积(CBD)工艺在玻璃衬底上制备CdS薄膜,研究溶液PH值对CdS薄膜结构特性的影响。薄膜的厚度、组份、晶相结构和表观形貌分别由台阶仪、X射线荧光光谱(XRF)、X射线衍射(XRD)和场发射扫描电子显微镜(FESEM)来表征。溶液的PH值为11.26、11.37和11.48时,CdS薄膜的晶相以六方相为主,薄膜的厚度先增大后减小;PH值为11.62、11.66时,薄膜的晶相以立方相为主,薄膜的厚度进一步减小。同时,随着溶液PH值增大,CdS薄膜的晶格常数也逐渐增大。两种晶相的CdS薄膜缓冲层与CIGS薄膜分别构成异质对形成异质结时的晶格失配分别为32.297%和1.419%,界面态密度分别为2.792×1014和8.507×1012,因此高效CIGS薄膜太阳电池更需要立方相的CdS薄膜。