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介绍了激光光刻，激光和各向异性腐蚀相结合加工硅三维结构，激光化学处理加工金属微型结构和激光沉积技术。
微机械加工技术——激光微加工
【摘 要】
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介绍了激光光刻，激光和各向异性腐蚀相结合加工硅三维结构，激光化学处理加工金属微型结构和激光沉积技术。
【机 构】
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东北传感技术研究所
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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1997年3期
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