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提出了“自上而下”制作硅化镍纳米线的方法，研究了制备出的纳米结构的形成过程及微观形貌。这种金属硅化物纳米线的制作方法对于集成电路制造很有应用价值。
“自上而下”制作硅化镍纳米线
【摘 要】
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提出了“自上而下”制作硅化镍纳米线的方法，研究了制备出的纳米结构的形成过程及微观形貌。这种金属硅化物纳米线的制作方法对于集成电路制造很有应用价值。
【机 构】
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中国科学院物理研究所微加工实验室
【出 处】
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纳米科技
【发表日期】
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2007年4期
【基金项目】
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基金项目：国家自然科学基金（50472073,90406024-1）
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