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期刊论文
“自上而下”制作硅化镍纳米线
“自上而下”制作硅化镍纳米线
来源 :纳米科技 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hl03031121
【摘 要】
:
提出了“自上而下”制作硅化镍纳米线的方法,研究了制备出的纳米结构的形成过程及微观形貌。这种金属硅化物纳米线的制作方法对于集成电路制造很有应用价值。
【作 者】
:
罗强
岳双林
顾长志
【机 构】
:
中国科学院物理研究所微加工实验室
【出 处】
:
纳米科技
【发表日期】
:
2007年4期
【关键词】
:
硅化镍
纳米线
制备技术
自上而下
NiSi
nanowires
preparation
top-down
【基金项目】
:
基金项目:国家自然科学基金(50472073,90406024-1)
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提出了“自上而下”制作硅化镍纳米线的方法,研究了制备出的纳米结构的形成过程及微观形貌。这种金属硅化物纳米线的制作方法对于集成电路制造很有应用价值。
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