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以锌铝合金为靶材,采用工业生产设备,用中频交流磁控溅射法在玻璃衬底上制备出了铝掺杂氧化锌（AZO）透明导电薄膜,研究了氩氧比、退火温度、退火时间对薄膜结构、光学和电学性能的影响.结果表明,氩气和氧气体积流量比为3：1时常温下得到薄膜的方阻值最低,400 ℃真空退火1 h后薄膜可见光平均透过率由84.0 %上升到86.7 %,方阻值由5 000 Ω/□下降到108 Ω/□.