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设计了一个由3个步进电机驱动的扫描探针显微镜(Scanningprobemicroscope,SPM)基座。这个基座比普通的由一个电机驱动的基座要灵活,但基座的控制也相对复杂。基座的3个电动机由一个Ardumo单片机来控制。在Ardumo单片机里面还设计了一个状态机,通过这个状态机单片机与电脑上位机和一个射频遥控器进行通信。另外,本项目还用两个5状态LED来显示有限状态机(Fmkestatemachme,FSM)的不同状态以及电动机和基座的运动状态。最后,通过测试和调试,本基座在Z方向上能实现700纳米的