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用微波ECR等离子体源离子注入(PSII)法,在硅片(100)上制备了类金刚石(DLC)薄膜,工作气体采用CH4气体,研究了不同的气体流量对薄膜的影响.对制备的DLC薄膜,用拉曼光谱、FT-IR光谱、AFM以及纳米压痕等手段对化学成分、化学键结构、表面形貌以及硬度等进行了表征.
微波ECR等离子体源离子注入法制备DLC薄膜
【摘 要】
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用微波ECR等离子体源离子注入(PSII)法,在硅片(100)上制备了类金刚石(DLC)薄膜,工作气体采用CH4气体,研究了不同的气体流量对薄膜的影响.对制备的DLC薄膜,用拉曼光谱、FT-IR
【机 构】
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大连理工大学
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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2003年6期
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