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通过对磁控溅射氧化锡镀膜工艺的研究,指出在不同溅射功率、不同工艺气体流量下,如何稳定、高效地控制氧化锡磁控溅射镀膜工艺。
浅析磁控溅射氧化锡镀膜工艺
【摘 要】
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通过对磁控溅射氧化锡镀膜工艺的研究,指出在不同溅射功率、不同工艺气体流量下,如何稳定、高效地控制氧化锡磁控溅射镀膜工艺。
【机 构】
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金堆城洛阳节能玻璃有限公司
【出 处】
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玻璃
【发表日期】
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2013年02期
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