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以去离子水为工质,针对高宽高比的矩形微细通道内竖直向上的饱和流动沸腾进行了实验研究。利用等离子增强化学气相沉积工序在原本光滑亲水的硅片表面上沉积100nm厚度的二氧化硅薄膜得到超亲水表面。通过实验测量探讨了热通量、质量流量对超亲水和普通表面换热特性的影响,并进一步通过高速摄像对观察到的两相流型结合换热进行解释。结果表明超亲水表面在低流速和高热通量下可以通过延缓局部干涸的发生从而强化换热。