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简述了单昌硅压阻式传声器的结构参数设计和工艺制造技术，采用ｐｎ结自终止电化学腐蚀技术得薄且平整性较好的振膜。测试结果表明：１ｋＨｚ时灵敏度为－５８．４ｄＢ／Ｐａ。
采用电化学自终止腐蚀制造硅传声器
【摘 要】
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简述了单昌硅压阻式传声器的结构参数设计和工艺制造技术，采用ｐｎ结自终止电化学腐蚀技术得薄且平整性较好的振膜。测试结果表明：１ｋＨｚ时灵敏度为－５８．４ｄＢ／Ｐａ。
【机 构】
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复旦大学电子工程系传感器研究室
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1996年4期
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