论文部分内容阅读
从上海举办的“中国科学院传感技术学术研讨会”上了解到，“十五”期间，中科院组织全院近20家研究所开展联合攻关。在重要传感器件方面，自主开发了MEMS（微机电系统）振动传感器、MEMS声响传感器、MEMS红外传感器、先纤传感器、声阵列传感器．形成了以MEMS传感器为主、复合多信息探测的小型化传感器系列。