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横河电机开发出可通过MEMS结构来改变面发光激光器（VCSEL）的波长的技术，并在“微机械／MEMS展”上进行了展板展示。展出元件中，通过金凸块接合技术层叠了基于磷化铟（InP）的VCSEL芯片、以及集成用于改变波长的MEMS部件的硅芯片。
利用MEMS实现可变波长通信用激光发光元件
【摘 要】
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横河电机开发出可通过MEMS结构来改变面发光激光器（VCSEL）的波长的技术，并在“微机械／MEMS展”上进行了展板展示。展出元件中，通过金凸块接合技术层叠了基于磷化铟（InP）的VCSEL芯片
【出 处】
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光机电信息
【发表日期】
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2007年9期
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