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日立高新技术公司发布了FEB（Field Emission Beam，场发射电子束）测长装置的新产品CG6300。该机型可满足7nm工艺元件开发和10nm工艺元件量产时的工艺控制需求，预定2015年10月开始销售。
CG6300系列FEB测长仪
【摘 要】
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日立高新技术公司发布了FEB（Field Emission Beam，场发射电子束）测长装置的新产品CG6300。该机型可满足7nm工艺元件开发和10nm工艺元件量产时的工艺控制需求，预定2015年10月开始
【出 处】
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传感器世界
【发表日期】
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2015年9期
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