Low Concentration of CO Gas Sensor by Atomic Layer Deposition

来源 :物理科学与应用：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liongliong521

【作者】

：

Mehmet Demir Ozlem Barin Irmak

【机构】

：

DepartmentofPhysics,DepartmentofPhysics

【出处】

：

物理科学与应用：英文版

【发表日期】

：

2014年8期

【关键词】

：

气体传感器原子层沉积 CO分子低浓度二氧化钛操作温度高灵敏度半导体材料 Gas Sensors CO surface controlled ty

【基金项目】

：

AcknowledgmentsThis work is supported by Gazi University BAP research project 05/2012-37 and Hitit University BAP research projects FEF01.13.003.

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