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为实现对飞秒激光烧蚀的光斑阵列进行准确测量,构建微视觉系统进行图像的采集、处理。由于微视觉系统视场有限,单帧图像无法反映光斑阵列全貌,需对多帧图像进行拼接处理。首先,利用微视觉远心镜头对飞秒激光烧蚀的光斑列阵图像进行采集,获得多幅光斑阵列图像;其次,运用Harris及RANSAC算子并加入ANMS非极大值抑制,对多幅光斑阵列图像进行配准与拼接,并经实验验证了采用此图像拼接方法能获得较好的光斑阵列整体图像。最后,运用SSIM评价法对拼接后图像与原图像进行对比,证明了拼接效果的准确性,能达到对原图像89