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本文从定义电磁兼容设计目标函数出发，针对具体环境出现的各种干扰问题，根据评价表达式的要求来进行电磁兼容设计。
电子束曝光机安装调试中的电磁兼容设计
【摘 要】
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本文从定义电磁兼容设计目标函数出发，针对具体环境出现的各种干扰问题，根据评价表达式的要求来进行电磁兼容设计。
【机 构】
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中国科学院电工研究所
【出 处】
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电工电能新技术
【发表日期】
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1997年4期
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