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离子注入机中高压直流稳压电源的主电路采用了脉宽调制式变换电路，本文从控制主要元器件的功耗入手，讨论如何选择变换器的工作频率和设计主要器件的参数，以确保电源的低功耗和高效率。
离子注入机中高压电源主电路工作频率的确定
【摘 要】
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离子注入机中高压直流稳压电源的主电路采用了脉宽调制式变换电路，本文从控制主要元器件的功耗入手，讨论如何选择变换器的工作频率和设计主要器件的参数，以确保电源的低功耗和高
【机 构】
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电子工业部第四十八研究所
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1996年4期
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