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采用液相沉积技术,以氟钛酸铵、硼酸和硝酸锶为原料,在前驱液pH=3.5、沉积温度60℃,沉积时间6 h条件下成功制备了SrTiO3薄膜。采用接触角测试仪对浓HNO3修饰的玻璃基板进行亲水性测定采用X射线衍射仪技术和扫描电镜表征薄膜相组成和微观形貌。研究结果表明:浓HNO3修饰30 min,后玻璃基板接触角下降到10.404°,沉积制备的SrTiO3薄膜结晶良好且纯度较高在基板表面以纤维簇状模式生长。文章同时探讨了SrTiO3薄膜生长机理。