【摘 要】
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<正> 一、前言随着工业的高度发展,世界上面临着能源危机。当前,我国能源供应紧张,已是制约我国经济发展的一个因素。因此,新能源的研究已成为国际上重要的研究课题,其中非晶
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<正> 一、前言随着工业的高度发展,世界上面临着能源危机。当前,我国能源供应紧张,已是制约我国经济发展的一个因素。因此,新能源的研究已成为国际上重要的研究课题,其中非晶硅太阳能电池的研制,是其重要领域之一,它可以将太阳能有效地转换为热能。用作太阳能电池的基片,主要有单晶硅、多晶硅、非晶硅、CdS等材料。由于单晶硅等材料纯度高、工艺技术复杂、造价昂贵,限制了其应用;CdS电池材料的化学稳定性差、使用寿命短、转换效率低。随着真空镀膜技术的发展,尤其是近几年来,在玻璃衬底上镀制非晶硅薄膜的成功,由于
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